氦质谱检漏是一种利用氦气作为示踪气体，通过质谱检漏仪检测氦气泄漏信号的高灵敏度泄漏检测方法，适用于液冷冷板、CDU、液冷管路、UQD快速接头、阀门、泵体、换热器、Manifold及其他具有密闭腔体或内部流道的液冷部件。对于焊缝、接口、密封件以及内部流道等位置存在的微小泄漏通道，可根据产品结构选择合适的检漏方式进行检测和定位。
液冷系统对流道密封性能具有较高要求，部分微小泄漏在常规压力保持或目视检查中不容易被及时发现，随着压力变化、温度变化及长期循环运行，潜在泄漏可能进一步影响冷却液保持能力。氦质谱检漏可通过检测氦气信号判断泄漏状态，并根据测试结果进一步定位异常区域。具体采用正压法、真空法或其他检漏方式，应结合产品结构、允许泄漏率、测试接口和实际使用要求确定。
适用产品
氦质谱检漏适用于对泄漏率要求较高或内部流道结构较复杂的液冷产品，常见检测对象包括：
- 液冷冷板及内部微流道组件
- CDU冷却液分配单元及密闭流路
- 液冷机柜冷却管路及流体组件
- 液冷软管、硬管及管路总成
- UQD快速接头及液体连接组件
- 液冷阀门及泵体密封结构
- Manifold歧管及流体分配组件
- 换热器及其他密闭流道部件
检测项目
氦质谱检漏应根据被测产品的结构形式和泄漏风险确定具体方法，重点验证产品整体及关键密封区域的泄漏状态。常见检测项目如下：
| 检测项目 | 测试内容/方法 | 主要验证目的 |
|---|---|---|
| 整体氦质谱检漏 | 向被测件内部充入规定氦气浓度的示踪气体，并通过质谱检漏仪检测外部泄漏信号 | 评价产品整体密封状态，识别可能存在的微小泄漏 |
| 真空法氦质谱检漏 | 将被测件或检测腔体抽至规定真空状态，并利用氦气信号检测泄漏 | 适用于具有适当密闭接口和真空检测条件的产品，验证较小泄漏通道 |
| 正压法氦质谱检漏 | 向被测件内部施加含氦示踪气体的规定压力，在外部检测氦气泄漏信号 | 检查内部流道、接口和密封区域是否存在泄漏 |
| 局部氦检漏 | 对焊缝、接头、密封件及其他重点区域进行局部氦气检测 | 定位整体检漏中发现的具体泄漏区域 |
| 接口密封检漏 | 重点检测快速接头、螺纹连接、法兰及其他连接界面的氦气泄漏信号 | 验证连接部位的微小泄漏风险 |
| 焊缝及流道检漏 | 针对冷板焊缝、流道封闭区域及其他焊接结构开展氦质谱检测 | 识别焊缝微孔、裂纹或局部缺陷造成的泄漏 |
标准依据
氦质谱检漏的具体检测方法、设备连接方式、允许泄漏率和判定条件需要结合产品结构及技术要求确定。实际项目中可依据适用的检漏方法标准建立测试方案，并根据客户要求、产品技术规范和目标使用条件确定具体测试参数。
| 标准编号 | 标准名称 | 适用范围 |
|---|---|---|
| GB/T 15823 | 无损检测 氦泄漏检测方法 | 适用于采用氦气作为示踪气体开展泄漏检测的相关产品和部件，可根据具体检漏方法选择适用条款 |
| ISO 20485 | 无损检测 泄漏检测 示踪气体法 | 适用于采用示踪气体进行泄漏检测的场景，可结合产品结构和检测目的选择适用方法 |
测试要点
氦质谱检漏的检测灵敏度和结果稳定性与检漏仪状态、氦气浓度、真空条件、环境背景、测试接口以及被测件内部状态密切相关。测试过程中需要控制氦气背景和系统自身泄漏，并根据产品结构选择合理的检测方式，否则可能出现漏检、误判或测试数据波动。
| 关注事项 | 常见问题 | 说明 | 解决方案 |
|---|---|---|---|
| 检漏方式 | 产品结构与检测方式不匹配 | 正压法、真空法及局部检漏的检测条件不同，被测件接口形式和内部流道结构会直接影响测试实施 | 测试前分析产品结构、接口和泄漏路径，根据测试目的确定适合的氦质谱检漏方法 |
| 氦气背景 | 环境氦气背景较高导致信号波动 | 氦气属于空气中的微量成分，测试环境、供气系统及操作过程均可能对背景信号产生影响 | 控制测试环境和氦气使用过程，测试前确认设备本底状态，并避免不必要的氦气扩散 |
| 设备本底 | 检漏仪自身或辅助管路存在泄漏 | 设备连接处、真空管路及密封接口异常可能产生额外氦信号，影响对被测件真实泄漏的判断 | 测试前检查检漏系统连接状态，并根据设备要求进行本底和系统状态确认 |
| 测试压力 | 氦气压力设置不合理 | 压力会影响氦气通过泄漏通道的驱动力，压力过低可能降低检测效果，压力过高则可能超出产品允许范围 | 依据产品额定压力、技术要求和确认后的检漏方法确定测试压力 |
| 泄漏定位 | 发现泄漏信号但难以确定具体位置 | 复杂冷板和管路组件可能存在多个接口、焊缝和密封区域，整体检漏只能确认泄漏状态 | 根据结构划分检测区域，采用局部氦气检测逐步缩小泄漏范围并定位异常点 |
| 样品预处理 | 内部残留气体、液体或污染物影响检测 | 被测件内部状态可能影响氦气进入流道、泄漏通道及检测系统的响应，部分液体残留还可能影响真空状态 | 按照产品结构和检漏方法进行干燥、清洁或预处理，并确认样品状态满足测试要求 |
测试流程
氦质谱检漏通常按照样品确认、设备准备、系统连接、充氦或抽真空、泄漏检测和结果判定等步骤实施，具体流程根据产品结构及选定检漏方法进行调整。
- 样品确认：确认产品型号、内部流道、接口形式、密封结构及允许泄漏要求，检查样品外观和测试接口。
- 设备准备：确认氦质谱检漏仪、真空系统、连接管路及辅助检测装置状态正常，并按照测试要求进行准备。
- 系统连接：根据正压法、真空法或局部检漏方式建立测试回路，检查测试接口及辅助连接部位的密封状态。
- 建立测试条件：按照确定的测试方案向被测件充入示踪气体或建立相应真空条件，使检测系统达到规定状态。
- 氦信号检测：通过质谱检漏仪采集氦气信号，观察泄漏响应并记录相关检测数据。
- 泄漏定位：当出现异常氦信号时，对焊缝、接口、密封件及其他重点区域进行局部检测，进一步确定泄漏位置。
- 结果判定：依据产品技术要求、客户要求或确认后的检漏方法对泄漏率及检测结果进行分析和判定。
检测价值
氦质谱检漏具有较高的泄漏检测灵敏度，可用于识别液冷部件中不易通过常规目视检查发现的微小泄漏通道。对于内部流道复杂、焊缝较多或连接接口数量较大的产品，可通过整体检漏与局部定位相结合的方式，对潜在泄漏位置进行进一步确认。
在液冷产品质量验收、装配检查和系统运行前验证过程中，氦质谱检漏可作为密封性能检测手段之一。实际测试时，应根据产品的额定压力、允许泄漏率、结构形式和使用介质确定检测方案，不能直接将某一固定泄漏率或测试参数作为所有液冷产品的统一判定依据。
关于德恺液冷检测
德恺液冷检测围绕液冷系统及相关部件的性能和质量检测开展服务，可根据冷板、CDU、管路、快速接头、阀门、换热器等产品的结构特点和泄漏要求制定氦质谱检漏方案，结合整体检测与重点区域定位，对产品密封状态及异常泄漏位置进行检测分析。
测试完成后，可根据项目要求整理样品信息、检漏方法、测试条件、泄漏检测数据、异常位置及结果判定等内容，为液冷部件密封性能验证、质量验收和运行前检查提供检测依据。
欢迎咨询资深专业工程师，获取氦质谱检漏专属方案。
